Alicat艾里卡特MCE系列真空质量流量控制器

Alicat艾里卡特MCE系列真空质量流量控制器特点：

1、插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件，并与 SEMI 标准 MFC 的 124 毫米端到端长度相匹配。

2、多功能且准确。对 98 多种气体和 20 种自定义混合物进行实时控制，精度可达 NIST 可追溯的读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%。

3、轻松集成。定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。

设备规格和定制选项：

快速规格：

MCE 系列性能（大多数产品）

1、可用满量程范围：0.5 SCCM 至 20 SLPM

2、稳态控制范围：满量程的0.01% – 100%

3、标准精度校准，NIST 可追溯：读数的 ± 0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

4、可选高精度校准，NIST 可追溯：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

5、重复性：±（读数的0.1% + 满量程的0.02%）

6、典型控制响应时间：快至 30 ms

7、预热时间： <1秒

MCE 系列操作条件

1、兼容气体：98 种以上预加载的可选气体校准

2、工作温度：–10°C 至 +60°C

3、满量程工作压力：160 PSIA

4、z大压差：75 PSID

5、耐压：175 PSIA

6、用户可选择的参考条件（默认）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

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