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质量流量控制器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，不需温度压力补偿。主要由分流器通道、放大控制器、流量传感器和流量调节阀门等部分组成，其中分流器决定主通道的流量。
质量流量控制器注意以下三点：
1、怕液体和油污进入流量计，会造成失控，如果质量流量控制器的出口接有液体罐，为避免液体回流，需要在质量流量控制器出口加上单向阀；
2、怕使用潮湿的腐蚀性气体，潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈，因此要求在使用腐蚀性气体前，要对气体和管路系统进行干燥处理，否则可能会造成质量流量控制器通道损坏；
3、怕粉尘，若粉尘进入质量流量控制器会堵塞传感器和分流器，造成测量误差，要求在进气口前加装过滤器。
质量流量控制器工作原理：将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表，设定电位器，内设、外设转换和三位阀控开关等。
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